Technologie nanášení tenkých vrstev - Zirkon (ZČU/KFY)

Popis

Řídicí systém REX byl použit pro řízení technologie pro charakterizaci iontového toku a efektivity depozičního procesu vysokovýkonového impulzního magnetronového naprašování zirkonia. Vysokovýkonové impulzní magnetronové naprašování zirkonia bylo zkoumáno při zatížení terče průměrnou pulzní výkonovou hustotou dosahující až 2,2 kW/cm2. Depozice byly provedeny použitím silně nevyváženého magnetronu s kruhovým zirkoniovým terčem o průměru 100 mm při tlaku argonu 1 Pa.

Použitý HW a SW

• HW: ViewPAC s operačním systémem Windows CE 5.0
• SW: Řídicí systém REX
• SW: Vizualizace - NI LabVIEW